一、電子潔凈車間空調(diào)凈化系統(tǒng)主要形式
電子潔凈車間空調(diào)凈化系統(tǒng)主要有以下幾種形式：
1、垂直單向流集中送風(fēng)方式；
2、風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元送風(fēng)方式；
3、隧道送風(fēng)方式；
4、非單向流送風(fēng)加層流罩送風(fēng)方式；
5、微環(huán)境方式。
這幾種形式的特點(diǎn)：
垂直單向流集中送風(fēng)：活動(dòng)區(qū)與生產(chǎn)區(qū)同處一室，面積可很大，活動(dòng)自由，靈活性大正壓頂棚，不利密封
風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元：同垂直單向流集中送風(fēng)，但噪聲大耗能較多，不利于維修；負(fù)壓頂棚，有利密封
隧道送風(fēng)：活動(dòng)區(qū)與生產(chǎn)區(qū)分開，有利于控制污染
非單向流加層流罩：局部操作區(qū)可實(shí)現(xiàn)較高潔凈度（1S05級(jí)），自由度差，噪聲大
微環(huán)境：生產(chǎn)區(qū)徹底被隔離，機(jī)械手操作，易實(shí)現(xiàn)其他方式難實(shí)現(xiàn)的高潔凈度。
二、垂直單向流集中送風(fēng)方式
集中送風(fēng)方式是一種經(jīng)典的方式。集中送風(fēng)方式就是將多臺(tái)空調(diào)凈化機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)?？照{(diào)機(jī)房可位于潔凈室的側(cè)面，也可位于潔凈室的頂層。垂直單向流集中送風(fēng)方式可適用于大面積和潔凈度級(jí)別高的潔凈室。
三、風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）方式
風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元方式也是集中送風(fēng)，在最近若干年獲得大的推廣該方式靈活性更大。這種送風(fēng)方式將新風(fēng)與回風(fēng)的混合風(fēng)由單元機(jī)組送到潔凈室，再?gòu)幕仫L(fēng)靜壓室經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱與新風(fēng)混合。這種方式由于不需要大的空調(diào)機(jī)房，送風(fēng)靜壓箱內(nèi)的空氣處于被風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元中的風(fēng)機(jī)抽吸的狀態(tài)，所以箱內(nèi)呈負(fù)壓，因此有利于防止過(guò)濾器邊框的泄漏。但是單元臺(tái)數(shù)太多，一臺(tái)一個(gè)電機(jī)，發(fā)熱量全散在頂棚中，給制冷帶來(lái)過(guò)大的負(fù)荷。臺(tái)數(shù)多，疊加噪聲大，不便于維修。
如果車間跨度很大，新風(fēng)口開在一側(cè)或兩側(cè)不足以使處理過(guò)的新風(fēng)較均勻地分配到每個(gè)FFU，回風(fēng)也有這種現(xiàn)象，此時(shí)也可能要設(shè)必要的新風(fēng)管道，進(jìn)入縱深。當(dāng)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元滿布時(shí)，其外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足上人要求。
由于風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元只負(fù)責(zé)空氣循環(huán)及其凈化處理，不能處理循環(huán)風(fēng)的熱負(fù)荷（濕負(fù)荷由新風(fēng)兼管），所以必須在循環(huán)通路上如夾墻內(nèi)設(shè)冷卻裝置。為防潮濕滋生細(xì)菌，此冷卻裝置應(yīng)為干表冷器，其進(jìn)水溫度應(yīng)高于潔凈室露點(diǎn)溫度，其迎面風(fēng)速不能太大，要使產(chǎn)生的阻力可為風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的風(fēng)機(jī)余壓所克服。為防還有一些凝結(jié)水產(chǎn)生，必須考慮適當(dāng)?shù)呐潘胧?。不能在夾墻或下技術(shù)層安裝干表冷器時(shí)，也有使部分回風(fēng)回到大機(jī)組的做法。
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